半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
投资项目情况
该中小型工厂处在辽宁省苏州市市,最主要担任精致光电器件除理器的芯片封装測試,日的废气排放废容量约200吨。伴随产出的时候中采用种化学反应除甲醛药剂,化工废水成份缜密,含有高氨水浓度铜、镍等血本属包括硅橡胶硅橡胶、光刻胶等生产生态破坏物。中小型工厂现有除理措施没法具备最薪的废气排放规范,现需晋升创新。
工业废水基本成分及来自
电镀锌焦化废水
:由来于IC芯片引脚真空镀膜加工过程,包含的铜、镍、锡等血本属阴离子,pH值震荡大。
有机酸废气
:首要基芯片封装胶凝固、光刻新工艺,有环氧防锈漆树脂、异丙醇、二甲苯等充分容剂。
腐蚀性化工废水
:生成于晶圆除污和蚀刻工作,所含氢佛酸、氢氧化反应钾、氢氧化反应钠等。
治疗工艺技术过程
预清理时间段
耐酸碱采和
:能够投加系统化自动调节pH至6-9,减少事件外理设施氧化。
混凝土放置
:添加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),清除飘浮物和地方血本属。
重点处置时候
最高级脱色
:使用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)拆分难化学降解设计物,COD快速清理率达70%上面的。
膜过滤程序
:超滤膜(UF)+ro反渗透性(RO)女子组合工艺设备,进1步虚报冒领血本属和溶水性有机质物。
高度处理阶段中
正离子对调
:专业针对性铜、镍铝离子,为了保证出水量血本属硫含量小于0.5mg/L。
化学活化炭降解
:充当后面安全保障,删去留氢化物发生器生物碳物。
终于效果好
经工作后,出水出水水硬度完成《电子器件重工业水严重空气污染物摆放条件》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收率大幅提升至60%,每次省下饮用水制造费约80十万。