半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
活动大环境
该商家为国际进取的半导体设备测封商家,地属珠角形地域,包括进行品质鑫霖环保芯片的划区和封口測試。致使本地安全要须严格,商家决心制定电镀废水零摆放工程项目流程。项目流程于2030年重启,202三年6月建设投入运营,治疗大规模为200吨/日,总投资人约200070万。
电镀废水因素及起源
本次重要性小学划片废气存在低于优点:
高酸度氟化物,常见位于晶圆割孔后的洗工作,氟铝离子酸度达到150-200mg/L
内含纳米技术级硅粉粒子,孔径多在100-500nm相互之间
有机物负担较高,COD在500-800mg/L
具有少量天价属如铅、镉等
纯水电导率高,基本上在2000-3000μS/cm
操作工艺设备标准流程
为实现了无废气排放口对方,技艺装修设计强调考虑的污废水 区分自身和产品收购 :
生活污水种类回收利用机系统
:将含氟污水与任何污水分别获取
化学上的水解除氟
:用到有级钙盐沉垫自己法,配合科学规范沉垫自己池
层级阳极氧化除理
:臭氧的危害促使氧化反应溶解难进行处理生物碳物
膜浓缩提炼系统
:分为DTRO碟管式反渗透设备法,浓缩液3的倍数为10倍
蒸发掉晶粒
:MVR机械化缩短空气再缩短多效空调冷凝器外理浓水
缺水体统
:将沉淀盐空气干燥后用作实业副食品外售
解决效率
系统性运动数据统计提示:
氟化物洗去率>99.9%,出水量氟铝离子<1mg/L
COD总我们要除率>98%,有水出COD<20mg/L
水源英文回报率>95%,仅会产生多量析出盐
每人每年回收公司高质量质量使用水约10万吨
沉淀盐饱和度可达到重工业级标准规范,保证 资源的化进行
活动不仅能完成了废渣零进行排放,还按照市场收旧建立了约80W/年的格外理财收益。