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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

楼盘情况 该半导体技术制造厂产业该该项目靠近华北地段,总投资人高达200亿美金,关键生育12英尺晶圆和现代化封裝企业产品。产业该该项目日排污废用水量约5000吨,包涵很多种鑫霖环保污废污水 ,整理难度系数大。该项目需要污废污水 整理后到《光学工业企业水被污物排污标淮》(GB 39731-2020)十分排污最大限度,的部分工业废水处理率不大于60%。 废水处理方法物质及的来源 含氟化工废水:主要是源自晶圆蚀刻、清晰工艺流程,氟铁离子氧浓度超过200-500mg/L,pH值跌涨大 可挥发电镀废水:光刻、成像、去胶等生产工序引起,COD浓硫酸浓度300-800mg/L,含有异丙醇、甲苯等可挥发液体 含铜废水处理方法:电镀工艺、化学物质机械设备打蜡 (CMP)加工过程有,铜阴离子浓硫酸浓度50-150mg/L 酸碱度废水处理工艺:机 擦洗、烟气洗滌等基本原则存在,pH值在2-12范围内跌涨 研磨机生产废水:CMP道工序引起,所含nm级二防氧化硅颗粒肥料 加工处理施工工艺程序流程 所采用"分类管理收藏+分质净化系统处理+深层次净化系统"的乐队组合的工艺: 含氟废液处里线 : 多级有机化学沉积:先加药氯化钙调控pH至6-7,加个入PAC和PAM斜管放置池沉积 亲水性被氧化铁降解:保障氟铝离子浓硫酸浓度调至5mg/L以内 废水经板框压滤后委托代理专业性加工 有机酸化工废水解决线 : 微电解抛光设备预解决:铁碳微电解抛光设备化学降解大碳原子有机化学物 UASB活性污泥法现象器:HRT=24h,COD快速清理率>60% MBR膜生物学反应迟钝器:应用PVDF弧形仟维膜,通量15LMH 含铜生产废水治理 线 : 化学式析出自己:加药系统NaOH缓解pH至9-10,导致Cu(OH)2析出自己 阴阴离子交易:多级树酯交易为了保证铜阴阴离子<0.3mg/L 钛电极收废:这部分生产废水经钛电极收废不锈钢铜 综上操作体统 : 调池:均匀土质排水量,设水解酸化池搅伴 沥青混凝土结晶:加药挽回斜管沉淀池剂除去胶体溶液物品 O3催化剂的作用防氧化:挥发难挥发有机化合物物 反加入系统性:脱盐率>98%,产水工业废水处理于生产的线 飞灰解决系統 : 活性污泥浓缩液池:固体颗粒酸度从1%发展至3% 离心分离脱水过滤:加入到PAM食补,泥饼水分含量率<75% 环境温度干化:个部分生活污水干化至水分含量率30%下面的 决定感觉 投资项目建设成进行后,每一项公式可靠不合格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜正离子<0.3mg/L、pH 6-9。回收水水体质量高于GB/T 19923-2005工业品需要用水条件,回收率65%,几乎每年开源节流生鲜水运用量约130万吨。工业废水带来量缩减40%,安全隐患废料应对费用大大减少35%。机系统全自动控制水平高,再线污染统计数据库与干净机构实时更新高速联网。

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