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半导体研磨废水处理案例|半导体研磨废水处理方法

活动情况 该工厂技术生产销售半导体设备用研磨设备材质和抛光剂液,污废水 处理工艺基本组成成分繁杂且所含贵废金属基本组成成分。场地坏保规定逐渐严格的,工厂选择实行污废水 处理工艺零废气排放水利,规定95%上述的水循环,所以液态废料资源英文化回收利用。 废水处理化学物质及种类 污废水 最主要的分成三大类: 磨研的原材料生育化工废水:含氧化硅、金刚石微粉等價值材质,浓度值多达5-8% 设施洁净废渣:包含的多个合金材料铁离子和外面活力剂 运动场地清洗污水:飘浮物为之主要,溶液浓度较低但的水量大 电镀废水显著特点:高固分子量(最低达10%)、高纯水电导率(5000-15000μS/cm)、包含nm级小型颗粒物物,老式办理最简单的方法得以可行剥离 。 操作生产工艺标准流程 面对污废水 特征,设定半个套成本收购型治理 程序: 预治疗系統 旋流分开:祛除>50μm的粗粒子 离心力果汁:将很小粒子果汁至15-20%含固率 震动问题分筛:按比表面积分等级利用不同的要求的精磨资料 中心操作装置 重型膜模式:所采用抗污染问题DTRO膜治理离心式清液 电渗析(ED):脱离精浓金属制化合物 减压蒸馏析出:MVR减压蒸馏器净化处理高盐废渣 使用软件 打磨抛光液配置:利用的软水使用在生产制造 贵合金金属材质收旧并:电解法收旧并金、银等有价合金金属材质 非常干燥造粒:将从而固态副产物生产制造为副的产品 加工过程特色:通过"细分回收、分级制度净化处理、分质回收"攻略 ,保证废水处理零尾气排放和教育资源上限化凭借。 结果是效率 投资项目施实后做到下列初步成效: 水中水回用率:96.3% 精磨物料的收回利用率:85%上文(年的收回利用的价值超三百万元) 有色金属材料回收分类处理率:92% 总合正常运行制造费:12.8元/吨水(抵减产品收旧受益后净制造费5.十元/吨水) 第二年减低风险废料出现量1200吨 该事例获得成功控制了工业废污水清理工程系统从"料工费服务核心"向"價值服务核心"的转换,为高價值半导体技术相关材料工业废污水清理工程系统打造了创新性搞定实施方案。

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