该晶圆制做厂是在西北东南部,其主要生育84英寸半导体器件晶圆,单日废液直接排股票放量约800吨。因生育工作中用大量的氢氧化钠展开晶圆蚀刻,致使废液中氟化物氧浓度多达200-300mg/L,远超我国直接减排标准单位(10mg/L这)。
生产废水材质及原因
废液重要位于三大基本原则:
晶圆蚀刻工步
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸铵及几瓶血本属
化学上机械设备制造打磨(CMP)化工废水
:含微米级硅颗料、巧妙络合剂
装备除污废水处理工艺
:含异丙醇、氟化物等生产物
正确处理鑫霖环保具体流程
采取"药剂学悠长岁月中+混凝土悠长岁月中+深入过滤程序"三級治理 模式:
3级清理
:污泥脱水氯化钙和氢钝化钙,变成氟化钙乳浊液,氟化物除去率达85%
一级净化处理
:增加PAC(整合氯化铝)和PAM(PP酰胺),我们要除氢氧化铁态水废弃物
三级分销正确处理
:实现多媒质油烟净化器器和亲水性炭离心分离,出水出水氟化物氧化还原电位稳定的在8mg/L以上
至关重要产品具有:pH自动化调试控制系统、斜管石雕文化斜管沉淀池、板框厢式压滤机(污泥处理脱干)。
最终能够成效
项目流程工作四年监测器资料提示:
氟化物大概渗透压:7.2mg/L(最低地方基准)
COD去掉率:92%
厌氧颗粒污泥水分含量率:≤65%
年收购 氟化钙副物品约150吨,实现目标自然无害化灵活运用