新项目蓝本
深圳某半导体行业厂生產过程中中一起产生高硅鑫霖环保(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟鑫霖环保(F⁻ 200-300mg/L)。每种鑫霖环保相混易于进行氟硅酸固体,传统文化化学滤渣法根本无法固定符合规范标准。内容规定要求一起彻底清除硅和氟(进行排放规范标准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理方法化学物质及种类
重点化学成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来源地
:晶圆刻蚀污水、CMP粉磨污水、产品清洗水
处理工艺设备方法
协同管理乳浊液的阶段
:
二级症状池
:
一号级加药系统Ca(OH)₂绘制CaF₂和CaSiO₃积淀;
第二种级污泥脱水PAC(配位聚铝)进行强化水解酸化池。
固液剥离的时候
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反渗透膜程序
:采用了0.02μm钻孔大小膜引擎虚报冒领电解质溶液硅和微细乳浊液物。
进一步脱氟的阶段
:
活力性脱色铝物理吸附塔
:残渣氟阴阳离子吸附性弄掉。
以后实际效果
满水后SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远不同于各国准则。
反渗透膜机系统通量固定在15LMH,生物刷洗时间段提高至60天。
工业废水经压滤后水分含量率<65%,可按基本上固体废物正确处理。