西安某光电器件集成块造成厂，晶圆加工生产时中有含硅、氟的特种废污水，装修设计解决大小1200吨/日。废污水组成较为复杂，具有刺激性nm级硅颗粒状及氢佛酸，传统文化解决策略不易符合标准。 生产废水化学成分及原因 主要是造成的污染物质 ：固体硅（100-500nm孔径）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来自工艺 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP药剂学机诫抛光处理生活污水（40%）、机 消毒水（15%） 净化处理制作工艺方法 不断创新主要包括"物理放置+特种工艺膜分離"能力行车路线： 钙盐悠长岁月中 ：加药系统氯化钙彻底清除氟化合物（自动生成CaF2积累） 二沉池的反应 ：塑料斜板沉淀池剂确保胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪作他用微细颗粒状 反参透体系 ：脱盐率>98%，二手回成品率75% 蒸发器心得 ：浓水段实行氟化物零排卸 终究的效果 氟化物质量浓度：<8mg/L（降到部委五级规范标准10mg/L） 硅分子量：<5mg/L 水资源现状共享使用率：70%使用冷确塔补水保湿 危废处理回收利用：蒸发掉杂质量较传统化的工艺下降60%